PLR3000光纖激光尺中圖儀器分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000光纖激光測量尺基于激光干涉測量原理,分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000多自由度激光尺測量儀分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000光纖激光干涉尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
PLR3000工業(yè)激光尺測量儀具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設計,保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準直等特點。可根據(jù)用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量
PLR3000超高分辨率激光尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業(yè)場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。
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