白光干涉儀是3D檢測(cè)領(lǐng)域中高精度的精密測(cè)量?jī)x器之一，特別是在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域。市場(chǎng)中的國(guó)外白光干涉儀品牌，因?yàn)閮r(jià)格昂貴，讓很多企業(yè)望而卻步，品質(zhì)和售后也是參差不齊。做的好的國(guó)產(chǎn)白光干涉儀不多，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1白光干涉儀算一個(gè)。

SuperView W1白光干涉儀跟國(guó)外的zygo白光干涉儀對(duì)標(biāo)，品質(zhì)和售后也有保障，更大的優(yōu)勢(shì)是軟件方面。基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，其*的3D重建算法，自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合測(cè)量精度可達(dá)亞納米級(jí)別，讓3D測(cè)量變得簡(jiǎn)單。

產(chǎn)品參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)配置

可選配置

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、參數(shù)測(cè)量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸、角度、面積、體積、一網(wǎng)打盡；

2、環(huán)境噪聲檢測(cè)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，納米波動(dòng)，也無可藏匿；

3、雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石”也能安然無恙；

4、自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫”；

5、雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振，吸音隔振，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)”。

性能特征

1、高精度、高重復(fù)性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測(cè)量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能，自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺(tái)平移、找條紋等測(cè)量前工作。

4、雙重防撞保護(hù)措施

（1）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng)，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí)，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護(hù)，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。

應(yīng)用領(lǐng)域

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格更為實(shí)惠，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺(tái)階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術(shù)企業(yè)，致力于精密測(cè)量、計(jì)量檢測(cè)等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。經(jīng)過十多年在幾何量測(cè)量領(lǐng)域的潛心研究，設(shè)計(jì)制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測(cè)長(zhǎng)機(jī)、SJ5700系列輪廓測(cè)量?jī)x、SJ5200系列螺紋綜合測(cè)量機(jī)、SJ2000系列指示表自動(dòng)檢定儀等眾多測(cè)量、計(jì)量設(shè)備。從納米級(jí)的微觀形貌檢測(cè)到百米級(jí)的大尺寸高精度測(cè)量，為用戶提供專業(yè)的精密測(cè)量解決方案。