中圖儀器的平面光學激光干涉儀產品在測量精度、測量速度、測量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

產品型號：SJ6000

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態(tài)采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

產品型號： SJ6800

穩(wěn)頻方式： 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度： 0.04ppm

測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）

測量分辨力：1nm

測量最大速度：4m/s

線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測量距離，單位：m)

主要特點：絕對測量、恒測力、無阿貝誤差

中圖儀器的平面光學激光干涉儀測量分辨率可達0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″，基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機、角度鏡組、WR50自動精密轉臺、SJ6000回轉軸測量軟件構成。

中圖激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、垂直度、角度、直線度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

如數控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當前有效且廣泛應用的方法是利用激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償。