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基于白光干涉原理，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViwe W1國產(chǎn)白光干涉儀采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI，單一模式即可適用于從平面到弧面、超光滑到粗糙等各種表面類型，讓3D測量變得簡單。廣泛應(yīng)用于3C電子、微納米材料、微機電、光學(xué)加工、半導(dǎo)體、超精密加工等行業(yè)中精密元器件的表面粗糙度、幾何輪廓等參數(shù)的測量和分析。

SuperView W3三維白光干涉形貌儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的平整度、粗糙度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器白光干涉儀可以設(shè)置分析模板，提供多文件分析、一鍵分析等輔助分析功能，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對精密工件微觀形貌的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。

中圖儀器的SuperView W1三維白光形貌干涉儀一體化操作的測量與分析軟件，提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能，自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，可實現(xiàn)批量測量功能。能真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量。