雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀，其利用激光干涉現(xiàn)象來測量物體的參數(shù)。其工作原理是激光器產生兩束不同頻率的激光束，這兩束激光束經(jīng)過分束器后被分成兩路，分別照射到物體表面和反射鏡上。當兩束激光束在物體表面反射后，它們會形成干涉條紋。由于兩束激光束的頻率不同，它們在物體表面反射后的相位差也不同，因此干涉條紋的間距會隨著物體表面的形狀、長度等參數(shù)的變化而發(fā)生變化。通過測量干涉條紋的間距變化，就可以計算出物體的參數(shù)，如長度、形狀、表面粗糙度等。

　　雙頻激光干涉儀的技術特點主要體現(xiàn)在以下幾個方面：

　　1、精度高：

　　以波長作為標準對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到微米量級，細分后更可達到納米量級。這種高精度的測量能力使其在精密制造、科學研究等領域具有廣泛的應用價值。

　　2、抗干擾能力強：

　　由于采用雙頻外差測量技術，雙頻激光干涉儀的接受信號為交流信號，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器，避免了直流放大帶來的零點漂移等問題。同時，利用多普勒效應計數(shù)器計頻率差的變化，不受激光強度和磁場變化的影響，因此在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號。這使得它在惡劣的測試環(huán)境中也能保持較高的測量精度。

　　3、環(huán)境適應力強：

　　既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內檢定量塊、量桿、刻尺、微分校準器和坐標測量機，也可以在普通的車間內為大型的機床的刻度進行標定。其對環(huán)境的適應能力強，能夠在各種復雜的工作環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能。

　　4、實時動態(tài)測速高：

　　測速普遍達到1m/s，有的甚至于十幾m/s，適于高速動態(tài)測量。這一特點使得它能夠滿足工業(yè)生產中對快速測量的需求，提高了生產效率。

　　5、應用范圍廣：

　　除了可用于長度的精密測量外，配上適當?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等。此外，還可以分光行多路測量，實現(xiàn)多個參數(shù)的同時測量，進一步提高了測量的效率和準確性。

　　6、穩(wěn)定性好：

　　雙頻激光干涉儀的穩(wěn)定性較好，測量精度不受空氣湍流的影響，無需預熱時間。這一特點使得它在長時間的測量過程中能夠保持較高的精度和穩(wěn)定性。